أكدت شركة ASML مؤخرًا أنها تسير على المسار الصحيح لإطلاق نظام الطباعة الحجرية Twinscan NXE من الجيل التالي. هذا النظام مزود بمصدر طاقة EUV بقوة 1000 واط، ويمكنه معالجة ما يصل إلى 330 رقاقة أشباه موصلات في الساعة.
من المتوقع إطلاق هذه الآلة في عام 2030 أو بعده، وستوفر طاقة تزيد عن 50% مقارنةً بأحدث أدوات الطباعة الحجرية فوق البنفسجية المتطرفة (EUV) المتوفرة حاليًا. ستساعد هذه الأجهزة مصنعي الرقائق على زيادة الإنتاجية بشكل ملحوظ وتقليل تكلفة قرص أشباه الموصلات. مع ذلك، ولتحقيق هذا الطموح، كان على شركة ASML التغلب على سلسلة من التحديات وإحراز تقدم تكنولوجي كبير.
أكد ممثلو فريق التكنولوجيا في شركة ASML أن تحقيق قدرة كيلوواط واحد يُعد إنجازًا باهرًا. بل إن الشركة ترى مسارًا واضحًا للتطوير نحو قدرة 1500 واط، وتؤمن بأن الوصول إلى 2000 واط أمر ممكن تمامًا في المستقبل.
لتحقيق مصدر للأشعة فوق البنفسجية القصوى بقدرة 1000 واط خلال العقد القادم، كان على شركة ASML تطوير طريقة جديدة كلياً لتوليد الضوء باستخدام ثلاث نبضات ليزرية. تتضمن هذه الطريقة نبضة فرعية أولى لتسطيح قطرات القصدير، ونبضة فرعية ثانية لتوسيعها، وأخيراً نبضة ليزرية رئيسية تحول هذه القطرات إلى حالة بلازما لإصدار ضوء الأشعة فوق البنفسجية القصوى.
بالإضافة إلى ذلك، سيتم تجهيز النظام الجديد بمولد قطرات قصدير متطور، مما يضاعف القدرة التشغيلية إلى 100000 قطرة قصدير في الثانية.
مع ذلك، فإن زيادة عدد قطرات القصدير تعني زيادة كمية الحطام المتطاير. لذا، يتطلب النظام جامع حطام جديد كليًا لضمان بقاء سطح قرص أشباه الموصلات نظيفًا تمامًا.
علاوة على ذلك، يُعد توليد 1000 واط من الإشعاع أمرًا صعبًا، لكن نقل هذه الطاقة إلى قرص أشباه الموصلات يُمثل تحديًا أكبر. لذلك، ابتكرت شركة ASML نظام عدسات بصرية عالي النقل، مصمم لزيادة قدرات المعالجة إلى أكثر من 450 قرصًا من أشباه الموصلات في الساعة.
كما يتطلب الحصول على ناتج ضوئي أعلى ترقية شاملة لأنظمة التركيب والحركة لرقائق أشباه الموصلات.
يتطلب هذا المصدر الضوئي القوي مواد كيميائية مقاومة للضوء وأغشية واقية من الجيل التالي. وهذا يعني أنه ليس على شركة ASML وحدها، بل على منظومة صناعة رقائق المعالجات بأكملها أن تكون مستعدة لوصول هذه الأدوات الجديدة.
لدى شركة ASML حاليًا خطط تفصيلية لدمج مصدر ضوئي بقوة 1000 واط في خارطة طريق منتجاتها. ومن المتوقع إطلاق الجيل التالي من آلات الطباعة الحجرية تدريجيًا بين عامي 2027 و2029.
المصدر: https://baophapluat.vn/cong-nghe-giup-tang-50-san-luong-chip.html






تعليق (0)