![]() |
ASML, EUV teknolojisinde yeni bir atılım gerçekleştirdi. Fotoğraf: ASML . |
ASML, aşırı ultraviyole (EUV) litografi makineleri için ışık kaynağı teknolojisinde önemli ilerleme kaydettiğini ve bunun da bu on yılın sonuna kadar çip üretimini %50'ye kadar artırabileceğini duyurdu. Duyuru 23 Şubat'ta yapıldı.
Hollandalı teknoloji devi şu anda, TSMC ve Intel gibi en büyük yarı iletken şirketleri tarafından kullanılan gelişmiş çip üretiminde önemli bir bileşen olan ticari EUV makinelerinin dünyadaki tek üreticisidir. EUV teknolojisi, modern yarı iletken nesillerinde devre kartı baskı sürecinin "kalbi" olarak kabul edilmektedir.
ASML araştırmacılarına göre, şirket mevcut 600 watt olan EUV ışık kaynağının gücünü 1.000 watt'a çıkarmanın bir yolunu buldu. ASML'nin baş EUV ışık kaynağı teknisyeni Michael Purvis, yeni sistemin sadece kısa vadeli bir deney olmadığını, müşterinin tesisindeki operasyonel gereksinimleri tamamen karşıladığını söyledi.
Purvis, ASML'nin Kaliforniya'daki tesisinde yaptığı açıklamada, "Bu, gördüğünüz gibi tüm aynı gereksinimlerle gücü 1.000 watt'a kadar artırabilen bir sistem" dedi.
Daha yüksek güç çıkışı, fotorezist kaplı silikon levhalara çip basımı yapılırken pozlama sürelerinin kısalmasına olanak tanıyarak saatte üretilen çip sayısını artırır ve birim maliyetini düşürür. ASML'nin Başkan Yardımcısı Teun Van Gogh'a göre, şirketin amacı müşterilerin EUV'yi önemli ölçüde daha düşük maliyetlerle kullanmaya devam etmelerine yardımcı olmaktır.
Bay Van Gogh, bu on yılın sonuna kadar her bir EUV makinesinin saatte yaklaşık 330 yonga levhası işleyebileceğini, bunun mevcut 220'den daha yüksek bir rakam olduğunu belirtti. Her yonga levhası, boyutuna bağlı olarak birkaç düzineden binlerce çipe kadar içerebilir.
EUV teknolojisi o kadar karmaşık ki, jeopolitik rekabetin odak noktası haline geldi. ABD hükümeti, EUV ekipmanlarının Çin'e ihracatını kısıtlamak için Hollanda ile işbirliği yaptı. Bu arada Çin, benzer teknolojiyi yurt içinde geliştirmek için çabalarını artırıyor.
ABD'de Substrate ve xLight gibi girişimler, rekabetçi çözümler geliştirmek için yüz milyonlarca dolar yatırım aldı; xLight ise Başkan Donald Trump döneminde devlet fonu aldı.
![]() |
ASML, ticari EUV makinelerinin dünya çapındaki tek yetkili tedarikçisidir. Fotoğraf: ASML . |
13,5 nm dalga boyuna sahip EUV ışığı üretmek için ASML'nin makinesi, erimiş kalay damlacıklarını bir vakum odasına püskürtür; burada damlacıklar bir CO2 lazeriyle plazmaya, yani EUV ışığı yayan aşırı ısınmış bir duruma ısıtılır. Bu ışık daha sonra Carl Zeiss AG (Almanya) tarafından sağlanan hassas bir optik sistem tarafından toplanır ve bir devreyi bir yonga levhasına basmak için yönlendirilir.
Yeni gelişmeler arasında, kalay damlacıklarının sayısının saniyede yaklaşık 100.000 damlacığa çıkarılması ve plazmayı şekillendirmek için daha önce olduğu gibi tek bir darbe yerine iki küçük lazer darbesinin kullanılması yer alıyor.
Colorado Eyalet Üniversitesi'nde profesör olan Jorge J. Rocca, 1.000 watt'lık bir güç çıkışına ulaşmanın "çok etkileyici" olduğunu belirterek, bu teknolojinin önemli bir mühendislik zorluğu olduğunu vurguladı.
ASML, yeni tekniklerin güç çıkışını 1.500 watt'a, hatta gelecekte 2.000 watt'a kadar artırmanın yolunu açtığını belirtti. Bu, şirketin küresel yarı iletken teknolojisi yarışındaki avantajını güçlendirecektir.
Kaynak: https://znews.vn/asml-tiep-tuc-cung-co-vi-the-post1630130.html









Yorum (0)