Исследовательский центр, который, как ожидается, будет введен в эксплуатацию в течение следующих трех-пяти лет, будет оснащен самым современным оборудованием для литографии в экстремальном ультрафиолете (EUV). Японские компании смогут платить за использование центра для целей проектирования и тестирования. Это будет первый научно-исследовательский центр в Японии, где EUV-оборудование можно будет «совместно использовать».

Эксплуатировать объект будет Национальный институт передовой промышленной науки и технологий Японии (AIST), подчиняющийся Министерству экономики , торговли и промышленности, а Intel предоставит экспертные знания в области производства микросхем с использованием технологии EUV.

a6aaba106ff038a47d5daed69861e32256e01706.avif.jpg
Каждая машина EUV-литографии стоит сотни миллионов долларов. Фото: Nikkei Asia

EUV имеет важное значение для производства полупроводников в масштабе 5 нанометров (нм) и ниже. Каждая машина EUV стоит более 40 миллиардов иен (273 миллиона долларов США), инвестиции, которые многим поставщикам материалов или производителям оборудования сложно сделать самостоятельно.

Такие компании теперь используют для разработки своей продукции оборудование EUV, принадлежащее зарубежным научно-исследовательским институтам, например, Imec в Бельгии.

В Японии компания Rapidus, нацеленная на массовое производство современных полупроводников, планирует в декабре внедрить в производство оборудование EUV, однако научно-исследовательские институты в Японии пока не имеют такого оборудования.

Поскольку США ужесточают ограничения на экспорт EUV-оборудования в Китай, процесс доставки тестовых данных из-за рубежа в Японию также становится все более трудоемким, поэтому предоставление EUV-оборудования отечественному научно-исследовательскому институту поможет решить эту проблему.

ASML Holding из Нидерландов является единственным производителем оборудования для EUV-литографии. Однако производство чипов включает в себя более 600 процессов, поэтому разработка соответствующего оборудования и материалов имеет важное значение.

Среди японских компаний Lasertec занимает 100% рынка инспекционного оборудования, связанного с EUV, в то время как JSR и другие сильны в производстве светочувствительных материалов, используемых для изготовления схем.

(По данным Nikkei Asia)

США стремятся заключить соглашение со своими союзниками о добавлении 11 китайских компаний по производству полупроводников в свой санкционный список, а также о расширении списка ограниченного к экспорту оборудования.