دولت ایالات متحده به تازگی با اعطای کمک هزینه ۸۲۵ میلیون دلاری برای ساخت یک مرکز تحقیق و توسعه برای تجهیزات لیتوگرافی فرابنفش شدید (EUV) در این کشور، با هدف شکستن انحصار ASML، موافقت کرده است.
این مرکز جدید که شتابدهنده EUV نام دارد و در مجتمع آلبانی نانوتک در نیویورک واقع شده است، اولین مرکز تحقیق و توسعه (R&D) است که تحت نظارت قانون CHIPS تأسیس شده است.
با هدف تقویت صنعت نیمههادی ایالات متحده، شتابدهنده EUV به ماشینآلات پیشرفته تولید تراشه مجهز خواهد شد و به محققان صنعتی اجازه میدهد تا با شرکای آموزشی دانشگاهی همکاری کنند.
سناتور شومر گفت: «وقتی تحقیقات سطح بالا در ایالات متحده انجام شود، ما قادر خواهیم بود پیشرفتهترین تراشههای جهان را بسازیم که به ما یک مزیت نظامی میدهد. البته، این امر همچنین تضمین میکند که اقتصاد و مشاغل آمریکا در نیمههادیهای پیشرفته از مزیت برخوردار باشند.»
این در حالی است که دولت آمریکا EUV را یک فناوری مهم در تولید تراشههای پیشرفته میداند و هدفش تسلط بر این فناوری است.
واشنگتن همچنین معتقد است که دسترسی، تحقیق و توسعه EUV برای گسترش رهبری ایالات متحده، کاهش زمان و هزینههای نمونهسازی و ایجاد و حفظ یک اکوسیستم نیروی کار نیمههادی ضروری است.
انتظار میرود شتابدهنده EUV پس از عملیاتی شدن، بر توسعه EUV پیشرفته با دیافراگم عددی بالا و همچنین تحقیق در مورد سایر فناوریهای مبتنی بر EUV تمرکز کند.
انتظار میرود این مرکز سال آینده دسترسی به استاندارد EUV NA و در سال ۲۰۲۶ دسترسی به high-NA EUV را برای اعضای مرکز ملی فناوری نیمههادی ایالات متحده (NTSC) و Natcast فراهم کند.
جینا ریموندو، وزیر بازرگانی ایالات متحده، در بیانیهای گفت: «راهاندازی این مرکز نقطه عطفی مهم در تضمین این است که ایالات متحده همچنان رهبر جهانی در نوآوری نیمههادیها باقی بماند.»
در ماه فوریه، دولت بایدن از اعطای کمک مالی به شرکت تراشهسازی گلوبالفاندریز برای افزایش تولید در شمال آلبانی و ورمونت خبر داد. در ماه آوریل، ایالات متحده از اعطای بسته ۶.۱ میلیارد دلاری به میکرون برای تولید تراشههای حافظه پیشرفته خبر داد.
لیتوگرافی نوری فرآیند چاپ نمودار مدار بر روی سطح حساس به نور ویفر سیلیکونی است که با تاباندن پرتو نور به ویفر سیلیکونی از طریق یک صفحه شیشهای که نمودار مدار روی آن رسم شده است، انجام میشود.
مدارهای کوچکتر به منابع نوری با طول موج کوتاهتر نیاز دارند، که نور فرابنفش شدید (EUV) مدرنترین پیشرفت امروزی است.
در سالهای اخیر، ASML در عرضه ماشینهای فتولیتوگرافی «انحصار» داشته و این شرکت هلندی را به «گلوگاه» در زنجیره تأمین نیمههادیها تبدیل کرده است.
این کارخانههای ریختهگری تراشه همچنین «جبهه» داغی بین واشنگتن و پکن هستند. در حال حاضر، پیشرفتهترین دستگاه EUV High-NA توسط ASML به قیمت ۳۸۰ میلیون دلار فروخته میشود که اولین دستگاه اوایل امسال به اینتل و دومی به یک «مشتری ناشناس» ارسال شده است.
نه تنها ایالات متحده، بلکه حلقههای زنجیره تأمین نیمههادی جهانی نیز در تلاشند تا خودشان EUV تولید کنند.
در اوایل ماه اوت، محققان ژاپنی (OIST) اعلام کردند که با موفقیت یک دستگاه لیتوگرافی EUV سادهتر و ارزانتر را توسعه دادهاند. این دستگاه نه تنها این، بلکه طراحی سادهتری نسبت به سیستم مرسوم ASML نیز دارد، مانند کاهش آن به تنها دو آینه نوری، به جای شش آینه پیشفرض.
با ساختاری سادهتر و ارزانتر از تجهیزات ASML، در صورت تولید انبوه، دستگاه جدید EUV میتواند صنعت ریختهگری تراشه را متحول کند و در نتیجه بر کل صنعت نیمههادی تأثیر بگذارد.
علاوه بر این، یکی از مزایای دستگاه، افزایش قابلیت اطمینان و کاهش پیچیدگی در تعمیر و نگهداری است. کاهش قابل توجه مصرف برق نیز از نقاط قوت سیستم جدید است.
به لطف مسیر نور بهینهشده، این سیستم با منبع نور EUV تنها 20 وات کار میکند و در نتیجه مصرف کل برق آن کمتر از 100 کیلووات است. در مقایسه، سیستمهای EUV معمولی معمولاً به بیش از 1 مگاوات برق نیاز دارند.
OIST درخواست ثبت اختراع برای این فناوری را ارائه کرده و اعلام کرده است که به توسعه دستگاه لیتوگرافی EUV برای کاربردهای عملی ادامه خواهد داد. پیشبینی میشود بازار جهانی دستگاه EUV از ۸.۹ میلیارد دلار در سال ۲۰۲۴ به ۱۷.۴ میلیارد دلار در سال ۲۰۳۰ افزایش یابد.
(به نقل از فورچون، بلومبرگ)
منبع: https://vietnamnet.vn/my-tim-cach-pha-the-doc-quyen-cua-asml-2338672.html
نظر (0)