סין מוכנה לליטוגרפיה מקומית של EUV

[מודעה_1]

למרות ש-SMIC הצליחה לייצר פרוסות 5 ננומטר באמצעות מכונות DUV, ייצור המוני היה קשה עקב עלויות גבוהות ותפוקות נמוכות. מכשולים אלה השפיעו לרעה גם על Huawei ומנעו מהחברה לעקוף את טכנולוגיית 7 ננומטר. אך הדברים נראים טוב יותר כאשר SMIC מתקדמת בהדרגה לכיוון מכונות EUV המיוצרות בסין.

- Ảnh 1. — מכונת ה-EUV של ASML היא בגודל של אוטובוס

על פי הדיווח האחרון, SMIC צפויה להתחיל בייצור ניסיוני של מכונות EUV מותאמות אישית ברבעון השלישי של 2025. מכונות אלו ישתמשו בטכנולוגיית פלזמה מושרה בלייזר (LDP), השונה מפלזמה מושרה בלייזר (LPP) של ASML.

ייצור המוני של מכונות EUV של סין עשוי להתחיל בשנת 2026, עם עיצובים פשוטים וחסכוניים יותר באנרגיה, שיסייעו לסין להפחית את תלותה בחברות שנפגעו מהאיסור האמריקאי ויעניקו לה יתרון תחרותי.

מכונת EUV "תוצרת סין" נחשפת לראשונה

תמונות ששותפו לאחרונה בחשבונות מדיה חברתית מראות מערכת חדשה שנבדקת במתקן דונגגוואן של וואווי. צוות מחקר מ-Harbin Provincial Innovation פיתח טכניקת פלזמה פריקה חשמלית שיכולה לייצר אורות EUV באורך גל של 13.5 ננומטר, ובכך לעמוד בדרישת השוק.

- Ảnh 2. — תמונה שדלפה היא ככל הנראה של מכונת EUV סינית שמתכוננת לבדיקה

התהליך כולל אידוי בדיל בין אלקטרודות והמרתו לפלזמה באמצעות פריקה במתח גבוה, כאשר התנגשויות אלקטרונים-יונים יוצרות את אורך הגל הנדרש. בהשוואה ל-LPP של ASML, טכנולוגיית ה-LDP נחשבת כבעלת עיצוב פשוט וקומפקטי יותר, צורכת פחות חשמל ועלויות ייצור נמוכות יותר.

לפני תחילת הניסויים הללו, SMIC וסין עדיין הסתמכו על מכונות DUV ישנות יותר, שהשתמשו באורכי גל של 248 ננומטר ו-193 ננומטר, שהיו נחותים בהרבה מאורכי הגל של 13.5 ננומטר של EUV. בשל מגבלה זו, SMIC הייתה צריכה לבצע מספר שלבי יצירת דפוסים כדי להשיג צמתים מתקדמים, מה שלא רק הגדיל את עלויות ייצור הפרוסות אלא גם האריך את זמני הייצור, מה שהוביל לחשבונות עצומים. כתוצאה מכך, השבבים של SMIC ב-5 ננומטר יהיו יקרים ב-50% מהשבבים של TSMC כאשר ייוצרו באותה טכנולוגיית ליתוגרפיה.

נכון לעכשיו, וואווי מוגבלת לפיתוח שבבי קירין משלה בתהליך 7 ננומטר, בעוד שהחברה יכולה לבצע רק התאמות קלות כדי לשפר את היכולות של שבבי על-שבב חדשים. אם סין תצליח לפתח מכונות EUV מתקדמות, וואווי תוכל לסגור את הפער מול קוואלקום ואפל ולהביא תחרות נחוצה לתעשיית המוליכים למחצה.

[מודעה_2]
מקור: https://thanhnien.vn/trung-quoc-san-sang-cho-may-in-thach-ban-euv-cay-nha-la-vuon-185250310223353963.htm