นักวิจัยจาก ASML Holding กล่าวว่า พวกเขาค้นพบวิธีเพิ่มกำลังของแหล่งกำเนิดแสงในเครื่องจักรสำคัญสำหรับการผลิตชิป ซึ่งอาจช่วยเพิ่มกำลังการผลิตชิปได้มากถึง 50% ภายในสิ้นทศวรรษนี้ ช่วยให้กลุ่มบริษัทสัญชาติเนเธอร์แลนด์แห่งนี้รักษาความได้เปรียบเหนือคู่แข่งรายใหม่จากสหรัฐอเมริกาและจีน
ปัจจุบัน ASML Holding เป็นผู้ผลิตเพียงรายเดียว ในโลก ที่นำเสนอเครื่องพิมพ์ลิโทกราฟีคลื่นแสงสั้นพิเศษ (EUV) สำหรับใช้ในเชิงพาณิชย์ ซึ่งเป็นเครื่องมือสำคัญที่ช่วยให้ผู้ผลิตชิป เช่น บริษัท Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Intel และอีกหลายบริษัท สามารถผลิตชิปประมวลผลขั้นสูงได้
"นี่ไม่ใช่การทดสอบสาธิตหรือการพิสูจน์ในระยะสั้นว่ามันใช้งานได้ จริง" ไมเคิล เพอร์วิส หัวหน้าฝ่ายเทคโนโลยีแหล่งกำเนิดแสง EUV ของ ASML กล่าว

ASML กล่าวว่า บริษัทได้ค้นพบวิธีเพิ่มกำลังของแหล่งกำเนิดแสงในเครื่องจักรสำคัญสำหรับการผลิตชิป
"นี่คือระบบที่สามารถผลิตพลังงานได้ 1,000 วัตต์ ภายใต้สภาวะที่คล้ายคลึงกับสภาวะในโรงงานของลูกค้า " เขากล่าวเพิ่มเติมระหว่างการสนทนาที่โรงงานของบริษัทใกล้เมืองซานดิเอโก รัฐแคลิฟอร์เนีย
เครื่องจักรหลักของอุตสาหกรรมการผลิตชิป
ยานสำรวจใต้น้ำแบบใช้เชื้อเพลิงเหลว (EUV) มีความสำคัญมากจนรัฐบาลสหรัฐฯ จากทั้งสองพรรคได้ประสานงานกับ รัฐบาล เนเธอร์แลนด์เพื่อสกัดกั้นการส่งออกไปยังจีน ซึ่งกระตุ้นให้ปักกิ่งริเริ่มโครงการระดับชาติเพื่อพัฒนาเทคโนโลยีระบบที่คล้ายคลึงกัน
ในสหรัฐอเมริกา มีบริษัทสตาร์ทอัพอย่างน้อยสองแห่ง ได้แก่ Substrate และ xLight ที่ระดมทุนได้หลายร้อยล้านดอลลาร์เพื่อพัฒนาเทคโนโลยีที่แข่งขันกับ ASML โดยเฉพาะอย่างยิ่ง xLight ได้รับเงินทุนสนับสนุนจากรัฐบาลในสมัยประธานาธิบดีโดนัลด์ ทรัมป์
ด้วยความก้าวหน้าทางเทคโนโลยีที่ประกาศในวันนี้ ซึ่งสำนักข่าวรอยเตอร์รายงานเป็นครั้งแรก ASML ตั้งเป้าที่จะขยายช่องว่างกับคู่แข่งที่มีศักยภาพโดยการปรับปรุงด้านที่มีความซับซ้อนทางเทคโนโลยีมากที่สุดของระบบของตน
เป็นกระบวนการสร้างแสง EUV ที่มีกำลังและคุณสมบัติที่เหมาะสมสำหรับการผลิตชิปขนาดใหญ่ นักวิจัยของบริษัทได้ค้นพบวิธีเพิ่มกำลังของแหล่งกำเนิดแสง EUV จาก 600 วัตต์ในปัจจุบันเป็น 1,000 วัตต์
ประโยชน์ที่สำคัญที่สุดของการเพิ่มกำลังการผลิตคือความสามารถในการผลิตชิปได้มากขึ้นต่อชั่วโมง ซึ่งจะช่วยลดต้นทุนต่อชิปได้
เครื่องจักร EUV สามารถประมวลผลเวเฟอร์ได้ 330 ชิ้นต่อชั่วโมงภายในปี 2030
ในกระบวนการผลิต ชิปจะถูก "พิมพ์" ในลักษณะเดียวกับการถ่ายภาพ โดยใช้แสง EUV ส่องไปยังแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนที่เคลือบด้วยสารเคมีพิเศษที่เรียกว่าโฟโตเรซิสต์ เมื่อแหล่งกำเนิดแสง EUV มีความเข้มสูงขึ้น โรงงานผลิตชิปก็ต้องการเวลาในการฉายแสงที่สั้นลง
"เราต้องการให้แน่ใจว่าลูกค้าจะยังคงสามารถใช้เทคโนโลยี EUV ได้ในราคาที่ต่ำลงมาก " Teun van Gogh รองประธานบริหารฝ่าย EUV NXE ของ ASML กล่าว
เขากล่าวว่าภายในสิ้นทศวรรษนี้ เครื่อง EUV แต่ละเครื่องจะสามารถประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนได้ประมาณ 330 แผ่นต่อชั่วโมง เพิ่มขึ้นจากปัจจุบันที่ 220 แผ่น โดยขึ้นอยู่กับขนาดของชิป แต่ละแผ่นเวเฟอร์อาจมีชิปตั้งแต่ไม่กี่สิบชิ้นไปจนถึงหลายพันชิ้น

เครื่อง EUV ของ ASML สามารถประมวลผลเวเฟอร์ได้ 330 ชิ้นต่อชั่วโมงภายในปี 2030
ASML ประสบความสำเร็จในการเพิ่มกำลังการผลิตนี้โดยการพัฒนาวิธีการอย่างต่อเนื่อง ซึ่งทำให้เครื่องจักรของบริษัทเป็นหนึ่งในระบบเทคโนโลยีที่ล้ำสมัยที่สุดเท่าที่มนุษยชาติเคยสร้างมา
เพื่อสร้างแสงที่มีความยาวคลื่น 13.5 นาโนเมตร เครื่องจักรของ ASML จะพ่นละอองดีบุกหลอมเหลวเป็นลำผ่านห้องพิเศษ ซึ่งเลเซอร์คาร์บอนไดออกไซด์กำลังสูงจะให้ความร้อนแก่ละอองเหล่านั้นจนกลายเป็นพลาสมา
พลาสมาเป็นสภาวะของสสารที่มีอุณหภูมิสูงมาก โดยที่หยดดีบุกมีอุณหภูมิสูงกว่าพื้นผิวของดวงอาทิตย์และปล่อยแสงยูวีออกมา จากนั้นแสงนี้จะถูกรวบรวมโดยระบบเลนส์ความแม่นยำสูงที่จัดหาโดยบริษัท Carl Zeiss AG และส่งไปยังเครื่องพิมพ์ชิป
การปรับปรุงที่สำคัญที่ประกาศในครั้งนี้ ได้แก่ การเพิ่มจำนวนหยดดีบุกเป็นสองเท่า โดยอาจมากถึงประมาณ 100,000 หยดต่อวินาที และการขึ้นรูปหยดดีบุกให้เป็นพลาสมาโดยใช้พัลส์เลเซอร์ขนาดเล็กสองพัลส์ แทนที่จะใช้พัลส์เดียวเหมือนในเครื่องรุ่นปัจจุบัน
“นี่เป็นความท้าทายอย่างมาก เพราะต้องอาศัยความเชี่ยวชาญในเทคโนโลยีที่หลากหลาย ” ฮอร์เก เจ. รอคคา ศาสตราจารย์จากมหาวิทยาลัยโคโลราโดสเตท ผู้เชี่ยวชาญด้านเทคโนโลยีเลเซอร์กล่าว “การทำกำลังไฟได้ 1 กิโลวัตต์นั้นน่าทึ่งมาก เรามองเห็นเส้นทางที่ค่อนข้างชัดเจนไปสู่ 1,500 วัตต์ และไม่มีเหตุผลพื้นฐานใดๆ ที่เราจะไม่สามารถทำกำลังไฟได้ถึง 2,000 วัตต์ ” เพอร์วิสกล่าว
ASML เชื่อว่าเทคนิคที่ใช้ในการผลิตกระแสไฟฟ้า 1,000 วัตต์ จะปูทางไปสู่ความก้าวหน้าเพิ่มเติมในอนาคต
ดือง เลียว (ที่มา: Reuters.com)
ที่มา: https://vtcnews.vn/asml-cong-bo-buoc-dot-pha-euv-mo-duong-tang-50-san-luong-chip-toan-cau-ar1004264.html
การแสดงความคิดเห็น (0)