Die Maschine, die China seit 6 Jahren Kopfzerbrechen bereitet, aber immer noch nicht kopieren kann

China hat es bisher nicht geschafft, die Fotolithografiemaschine von ASML zu kopieren, die als das „Herzstück“ der modernen Chipherstellung gilt.

Einem Bericht zufolge scheiterte kürzlich ein chinesisches Unternehmen bei dem Versuch, eine ASML DUV-Lithographiemaschine wieder zusammenzubauen, nachdem es diese zu Reverse-Engineering-Zwecken zerlegt hatte.

Die Quelle gab bekannt, dass ASML Techniker zur Unterstützung entsenden musste und feststellte, dass die Geräte aufgrund unsachgemäßer Demontage schwer beschädigt waren.

Experten vermuten, dass China die Maschine demontiert hat, um das Verbot der Einfuhr neuer EUV-Geräte aus den USA und Europa zu umgehen.

Die hochkomplexe Konstruktion der Fotolithografiemaschine macht eine Duplizierung jedoch nahezu unmöglich, selbst für erfahrene Ingenieure.

Das System erfordert eine Präzision im Subnanometerbereich und kombiniert einen 193 nm ArF-Laser, eine Tauchlinse und eine äußerst komplexe optische Kalibrierung.

Eine geringfügige Fehlausrichtung kann den gesamten Ausrichtungsprozess beeinträchtigen, was nur der Originalhersteller beheben kann.

Obwohl China in der Chiptechnologie einige Fortschritte erzielt hat, liegt es noch weit hinter ASML zurück.

Derzeit können inländische Hersteller nur Chips mit einer Strukturgröße von 65-90 nm produzieren, während ASML bereits auf die 2-nm-Technologie umgestiegen ist und seine „dominante“ Position in der globalen Fotolithografieindustrie weiterhin behauptet.

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Quelle: https://khoahocdoisong.vn/co-may-khien-trung-quoc-dau-nao-suot-6-nam-van-khong-sao-chep-noi-post2149065708.html