Anfang September kündigte die niederländische Ministerin für Außenhandel und Entwicklung, Reinette Klever, eine Änderung der Exportkontrollen an, die den Halbleitermaschinenhersteller ASML dazu verpflichtet, eine Lizenz für den Verkauf seiner Fotolithografiemaschinen DUV 1970i und 1980i an Kunden in China zu beantragen.

Darüber hinaus ist ASML verpflichtet, Servicelizenzen zu erwerben sowie Ersatzteile und Software-Updates für eingebettete Lithographiemaschinen bereitzustellen, die zuvor an chinesische Kunden verkauft wurden.

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ASML-Hauptsitz und -Werk in den Niederlanden. Foto: Bloomberg

Mit diesem Schritt sollen die niederländischen Vorschriften an die verschärften US-Handelsbeschränkungen angeglichen werden, die ab November 2023 gegen China aus Gründen der nationalen Sicherheit gelten. Die Beschränkungen Washingtons betreffen Fotolithografiemaschinen der Baureihen 1970i und 1980i.

Das chinesische Handelsministerium erklärte: „China lehnt dies entschieden ab.“

Die regulatorische Änderung ist technischer Natur und hat keinen Einfluss auf den Finanzausblick für dieses Jahr, erklärte ASML in einer Stellungnahme.

Wartungsdienste sind für die Aufrechterhaltung der Produktivität in Halbleiterfabriken unerlässlich. Wartungstechniker müssen rund um die Uhr erreichbar sein, um bei Maschinenausfällen sofort reagieren zu können. In China gilt die 1980i aufgrund ihrer Vielseitigkeit laut Halbleiterexperten als bewährtes Gerät für viele Chipfabriken.

Die kurzfristigen Auswirkungen des Wegfalls von Wartungsdiensten auf die Chipindustrie sind laut Quellen aus dem Umfeld von ASML enorm. Shen Bo, Leiter von ASML China, erklärte in einem Interview mit der China Daily im September 2023, dass ASML seit Markteintritt 1988 mehr als 1.000 Maschinen in den Niederlanden installiert habe, darunter Lithografieanlagen und Inspektionslösungen. ASML gab nicht bekannt, wie viele Maschinen von den niederländischen Exportbeschränkungen betroffen sind.

Die Wartung stellt jedoch ein geringeres Problem dar als der Mangel an neuen, fortschrittlichen Lithografiemaschinen. Die Durchführung von Wartungsarbeiten und die Beschaffung von Ersatzteilen seien vergleichsweise einfacher als der Bau von Lithografiesystemen von Grund auf, so Quellen aus dem Umfeld von ASML.

Seit 2019 unterliegt Festlandchina, dem nach Umsatz im Jahr 2023 zweitgrößten Markt von ASML, verschärften Exportkontrollen für Lithographiesysteme.

Die Niederlande haben ASML den Verkauf seiner modernsten EUV-Lithographiemaschinen – die für die Herstellung von Chips unter 7 nm verwendet werden – und eingebetteten DUV-Lithographiemaschinen, einschließlich der Modelle 2100i, 2050i, 2000i, 1970i und 1980i, nach China ohne Lizenz untersagt.

Bestehende Lizenzen für auf der schwarzen Liste stehende chinesische Unternehmen werden nicht verlängert, und künftige Anträge werden abgelehnt, so Paul Van Gerven, Redakteur des niederländischen Technologiemagazins Bits & Chips. Trocken-UV-Drucker – ältere Geräte, die Luft statt Wasser verwenden, um die Auflösung beim Drucken komplexer Leiterplatten auf Siliziumwafer zu verbessern – unterliegen derzeit keinen Beschränkungen, fügte Van Gerven hinzu.

Die Lieferungen von ASML nach Festlandchina beliefen sich im zweiten Quartal auf insgesamt 2,35 Milliarden Euro, was fast der Hälfte des weltweiten Umsatzes entspricht. Laut Geschäftsbericht 2023 konnte das Unternehmen aufgrund des Auftragsbestands nur 50 % der Aufträge aus China erfüllen.

(Laut SCMP, Silicon)