Anfang September kündigte die niederländische Ministerin für Außenhandel und Entwicklung, Reinette Klever, eine Änderung der Exportkontrollen an. Demnach müsse der Halbleitermaschinenhersteller ASML eine Lizenz beantragen, um seine Fotolithografiemaschinen DUV 1970i und 1980i an Kunden in China verkaufen zu dürfen.

Darüber hinaus muss ASML Servicelizenzen erwerben sowie Ersatzteile und Software-Updates für eingebettete Lithografiemaschinen bereitstellen, die zuvor an chinesische Kunden verkauft wurden.

viy5vawd.png
ASML-Hauptsitz und Fabrik in den Niederlanden. Foto: Bloomberg

Ziel dieses Schritts ist es, die niederländischen Vorschriften an die strengeren US-Handelsbeschränkungen anzugleichen, die im November 2023 in Kraft treten sollen und sich aus Gründen der nationalen Sicherheit gegen China richten. Zu den Beschränkungen in Washington zählen die Fotolithografiemaschinen 1970i und 1980i.

Das chinesische Handelsministerium bekräftigte, dass „China sich entschieden dagegen wehrt“.

Die regulatorische Änderung sei technischer Natur und habe keinen Einfluss auf die Finanzaussichten dieses Jahres, teilte ASML in einer Erklärung mit.

Wartungsdienste sind für die Aufrechterhaltung der Produktivität in Halbleiterwerken von entscheidender Bedeutung. Wartungstechniker müssen im Falle eines Maschinenausfalls rund um die Uhr erreichbar sein. Laut Halbleiterexperten ist der 1980i in China aufgrund seiner Flexibilität ein vertrauenswürdiges Gerät für viele Chipfabriken.

Laut Quellen aus dem Umfeld von ASML sind die kurzfristigen Auswirkungen des Verlusts des Zugangs zu Wartungsdiensten für die Chipindustrie enorm. In einem Interview mit China Daily im September 2023 sagte Shen Bo, Direktor von ASML China, dass ASML seit seinem Markteintritt im Jahr 1988 hier mehr als 1.000 Maschinen installiert habe, darunter Lithografiewerkzeuge und Inspektionslösungen. ASML gab nicht bekannt, wie viele Maschinen niederländischen Exportbeschränkungen unterliegen.

Allerdings ist die Wartung ein kleineres Problem als der Mangel an neuen, modernen Lithografiemaschinen. Die Durchführung von Wartungsarbeiten und die Beschaffung von Ersatzteilen sei vergleichsweise einfacher als der Bau von Lithografiesystemen von Grund auf, sagten Quellen aus dem Umfeld von ASML.

Seit 2019 unterliegen auf dem chinesischen Festland, dem zweitgrößten Markt von ASML (gemessen am Umsatz im Jahr 2023), verstärkte Exportkontrollen für Lithografiesysteme.

Die Niederlande haben ASML verboten, seine modernsten EUV-Lithografiemaschinen – die zur Herstellung von Chips unter 7 nm verwendet werden – und eingebetteten DUV-Lithografiemaschinen, darunter die 2100i, 2050i, 2000i, 1970i und 1980i, ohne Lizenz nach China zu verkaufen.

Bestehende Lizenzen für auf der schwarzen Liste stehende chinesische Unternehmen werden nicht erneuert und zukünftige Lizenzanträge abgelehnt, so Paul Van Gerven, Herausgeber des niederländischen Technologiemagazins Bits & Chips. Trockene DUV-Drucker – Maschinen der älteren Generation, die beim Drucken komplexer Leiterplatten auf Silizium-Wafer Luft statt Wasser verwenden, um die Auflösung zu verbessern – unterliegen derzeit keinen Einschränkungen, fügte Van Gerven hinzu.

Im zweiten Quartal belief sich der Wert der Lieferungen von ASML nach Festlandchina auf 2,35 Milliarden Euro, was fast der Hälfte des weltweiten Umsatzes entspricht. Aus dem Geschäftsbericht 2023 geht hervor, dass das Unternehmen aufgrund eines großen Auftragsbestands nur 50 % der Bestellungen aus China abwickeln kann.

(Laut SCMP, Silizium)